総合的なプラズマ利用に向けた全自動ソリューション
Openair-Plasma®にロボットシステムを搭載することにより、複雑な用途でも最高レベルの精度を発揮します。 Openair-Plasma®ロボットシステムは頑丈で、操作を簡単に行うことができます。それぞれの用途に合わせてノズルの構成をカスタム化することにより、サイクルの回数を増やし、プロセス速度を高めます。またOpenair-Plasma®処理は、いつでも再現可能な、非常に高いプロセス信頼性を実現しています。
乾式プラズマプロセスは非常に環境に優しい技術であり、しかも時間を節約することができます。この技術を利用すれば、従来の湿潤化学プロセスを全て省略することができ、また複雑なチャンバーシステムを使用する必要が一切ありません。